センサー用電極およびその製造方法

Sensor electrode and its manufacturing method

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor electrode capable of suppressing a decrease of a sensor capacity caused by damage even if physical damage is produced in the electrode by the deformation of a sensor element, and its manufacturing method. <P>SOLUTION: The sensor electrode related to one embodiment is used for performing electrochemical measurement and equipped with a polyimide substrate 1 having flexibility, the platinum layer 3 for an acting electrode formed on the polyimide substrate 1 and a silver layer 6 for a reference electrode. A gold layer 2 having an expansibility higher than the platinum layer 3 and conductivity is formed so as to be brought into contact with the undersurface of the platinum layer 3. Further, a gold layer 5 having an expansibility higher than the silver layer 6 and conductivity is formed so as to be brought into contact with the undersurface of the silver layer 6. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】センサー素子が変形することにより電極に物理的な破損が生じたとしても、該破損によるセンサー性能の低下を抑制可能なセンサー用電極およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】本発明の一実施形態に係る、センサー用電極は、電気化学的に測定を行うためのセンサー用電極であって、可撓性を有するポリイミド基板1と、ポリイミド基板1上に形成された作用電極用の白金層3と、参照電極用の銀層6とを備える。この白金層3の下面には、白金層3の展延性よりも高い展延性を有し、導電性を有する導電性材料である金層2が、接するようにして形成されている。また、銀層6の下面には、銀層6の展延性よりも高い展延性を有し、導電性を有する導電性材料である金層5が、接するようにして形成されている。 【選択図】図1

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